ویکیوم میگنیٹران اسپٹرنگ تکنیک کیتھوڈ سطح کے بڑھے ہوئے الیکٹران کے مقناطیسی فیلڈ کے ساتھ مادہ، دوئبرووی الیکٹروڈ سطح کا استعمال ہے، ہدف کی سطح کے برقی فیلڈ کو مقناطیسی میدان پر کھڑا کرکے، الیکٹران اسٹروک کو بڑھاتا ہے، آئنائزیشن کی شرح میں اضافہ کرتا ہے۔ گیس کی، جبکہ اعلی توانائی کے ذرات گیس اور تصادم کے بعد توانائی کھو دیتے ہیں اور اس طرح کم سبسٹریٹ درجہ حرارت، ایک غیر درجہ حرارت مزاحم مواد پر مکمل کوٹنگ۔